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锗烷特气系统在半导体集成电路中的作用

2021-01-12 14:03:50    责任编辑: 特气系统工程设计安装企业     0

随着信息时代的不断进步,半导体等电子行业越来越重要,其中,电子气体作为电子行业支撑性原料,其质量决定了电子产品的性能。锗烷就是一种重要的电子工业用原料气体,是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料,同时,因其危险的气体性质,供气和使用都需通过特气系统来实现。



什么是锗烷?

锗烷(GeH4)是一种无色、剧毒、可自燃、非腐蚀性气体。关于锗烷的气体性质,热稳定差,较高温度时(大概280℃)会分解成锗和氢气;自催化性很强,易发生分解爆炸,危险性很高!


锗烷的用途

锗烷(GeH4)是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料,主要用于半导体,光伏太阳能和集成电路行业。比如,在MOCVD(金属有机物化学气相沉积)工艺中,锗烷(GeH4)常和硅烷,通过特气系统的输送,作为气体原材料,生成硅-锗薄膜。

在半导体集成电路电子器件制造中,锗烷作为硅-锗(Si-Ge)膜的前驱气体,参与制造。如在异质结二极晶体管(HBT)中,薄硅锗层作为二极晶体管的基底生长在硅片上,与传统的硅二极晶体管相比,硅-锗HBT在速度、响应频率和增益上具有明显的优势,其速度和频率响应可以与更昂贵的镓-砷HBT相比。


锗烷特气系统的作用

作为半导体行业的常用电子气体,大多都是危险性气体,如硅烷、锗烷。这些特殊气体如果使用普通的的供气系统,会具有很大的危险,容易导致事故的发生,威胁到生产人员安全。所以需要使用一种对安全性有着更高要求的供气系统,也就是电子特气系统。

锗烷特气系统由锗烷特气柜、气体阀门分配箱VMB、耐腐蚀的316L不锈钢管路及气体泄漏监测报警系统组成,主要的作用是保护气体的纯度、安全、提供稳定的气体压力和不间断供气。


以上,就是关于锗烷及锗烷特气系统的简单先容,除此之外,锗广泛应用与红外光学、光纤、催化剂、医药、食品等领域,而锗烷是高纯单质锗的重要来源之一。最后,感谢您的阅读!


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