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半导体特气尾气处理设备有什么优点?

2020-12-05 10:37:15    责任编辑: 尾气处理设备制造厂商     0

当今,随着时代的进步,社会已进入以半导体技术为核心的信息时代,在半导体制造生产过程中需要使用多种特殊气体,会产生大量的废气。如果处理不当,没有经过尾气处理设备就高浓度排放,会对环境以及大家的健康造成很大影响。


特气尾气处理设备


随着半导体制程工艺的不断细化,废气治理工作的深入,为了避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏,局部聚积或相互反应,所以,制程中特气废气需先在Local Scrubber 尾气处理设备(常用吸附式)做处理,再接续至厂务端做第二道处置。那么,吸附式尾气处理设备Local Scrubber 有什么优势呢?


特气尾气处理设备


吸附式尾气处理设备的优点:


1.  吸附剂处理,无废水。以材质 SUS304、容量100L的吸附桶完全处理设备尾气,处理过程中不需要耗用水资源,没有废水处理问题;

2.  节省能源,无明火。在无尘室内处理废气时不产生火源,没有明火,没有高耗能的需求;

3.  系统功能齐全。尾气处理设备以PLC 触控面板为主体搭配人机接口控制系统,各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器,针对设备运行时各种状况,随时监控,全面监控;

4.  尾气出口处安装变频风机,可根据进出口压力,调整风机转速,能提升药剂使用寿命、稳定处理废气压力和避免废气回流

5.  指示剂:配备PH3, AsH3气体监控变色球指示剂,替代传统电化学计。


特气尾气处理设备


通过以上描述,相信大家对吸附式尾气处理设备Local Scrubber 所具备的优点有一定的了解,在半导体行业根据气体性质等条件选择合适的尾气处理设备更加稳定可靠。感谢您的阅读!


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